微石英音叉陀螺激励与检测电极的研究 |
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作者姓名: | 王莹 印平 等 |
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作者单位: | 1. 北京理工大学光电工程系, 2. 北京联合大学专业基础部, |
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基金项目: | 国家部级科研项目;J9.1.6; |
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摘 要: | 根据弹性力学和静电理论建立压电梁弯曲振动时晶体内电场分布的泊松方程,研究微石英音叉陀螺不同形式的激励与检测电极的性能,对泊松方程求解,得出了几种典型电极形式下压电梁内电场的分布表达式,计算驱动电极的等效体力和检测电极的压电电流。根据等效体力和压电电流的大小确定出了最佳驱动电极和检测电极的形式,给出了微石英音叉陀螺电极性能的研究方法。
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关 键 词: | 石英陀螺 压电效应 等效体力 压电电流 检测电极 微机械角速度传感器 |
文章编号: | 1001-0645(2001)04-0503-05 |
修稿时间: | 2001-02-22 |
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