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电子束蒸发制备碳化硼球面涂层的表面氧化研究
引用本文:林涛,卢铁城,于小河,苏明甫,马奔原,廖志君.电子束蒸发制备碳化硼球面涂层的表面氧化研究[J].四川大学学报(自然科学版),2013,50(3):601-604.
作者姓名:林涛  卢铁城  于小河  苏明甫  马奔原  廖志君
作者单位:1. 四川大学物理系和辐射物理及技术教育部重点实验室,成都,610064
2. 四川大学物理系和辐射物理及技术教育部重点实验室,成都610064;中国科学院国际材料物理中心,沈阳110015
3. 四川大学物理系和辐射物理及技术教育部重点实验室,成都610064;四川大学高能量密度与物理技术教育部重点实验室,成都610064
基金项目:国家重大科技专项子课题
摘    要:利用电子束蒸发技术沉积制备了碳化硼微球涂层,将微球涂层依次经退火和稀硫酸腐蚀处理后得到碳化硼空心微球,并借助XRD和SEM对碳化硼微球涂层的表面氧化问题进行了研究.XRD结果显示当衬底温度在120℃附近时,碳化硼涂层部分被晶化;对退火前后和酸腐蚀后的微球涂层进行SEM分析,结果表明,退火前的涂层表面部分被氧化成B2O3,退火后B2O3覆盖在涂层表面,酸腐蚀可以去掉B2O3,得到表面光洁的碳化硼空心微球.

关 键 词:ICF靶  碳化硼涂层  电子束蒸发  氧化  显微结构
收稿时间:2013/1/23 0:00:00

Research on the oxidation phenomenon of the boron carbide ball-coating deposited by electron beam evaporation
LIN Tao , LU Tie-Cheng , YU Xiao-He , SU Ming-Fu , MA Ben-Yuan , LIAO Zhi-Jun.Research on the oxidation phenomenon of the boron carbide ball-coating deposited by electron beam evaporation[J].Journal of Sichuan University (Natural Science Edition),2013,50(3):601-604.
Authors:LIN Tao  LU Tie-Cheng  YU Xiao-He  SU Ming-Fu  MA Ben-Yuan  LIAO Zhi-Jun
Institution:1,3(1.Department of Physics.Key Laboratory of Radiation Physics and Technology of Ministry of Education, Sichuan University,Chengdu 610064,China; 2.International Center for Material Physics,Chinese Academy of Sciences,Shenyang 110015,China; 3.Key Laboratory for High Energy Density Physics and Technology of Ministry of Education, Sichuan University,Chengdu 610064,China)
Abstract:
Keywords:ICF target  boron carbide coating  electron beam evaporation  oxidation  microstructure
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