| MeV B离子注入铌酸钾晶体形成光波导的微结构研究 |
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| 引用本文： | 夏宗璜,李琰,沈定予,赵强,王雪梅,沈德忠.MeV B离子注入铌酸钾晶体形成光波导的微结构研究[J].科学通报,1999,44(1):103-105. |
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| 作者姓名： | 夏宗璜 李琰 沈定予 赵强 王雪梅 沈德忠 |
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| 作者单位： | [1]北京大学技术物理系,重离子物理研究所 [2]国家建材局人工晶体研究所,重离子物理研究所 |
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| 基金项目： | 核工业科学基金!(编号 :H71 96FY0 0 3)资助项目 |
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| 摘 要： | ＭｅＶ离子注入已被用于研制光波导,特别是对低温相变材料尚属目前唯一的手段,铌酸钾晶体(ＫＮｂＯ3,简称ＫＮ)即为具有低温相变性质的非线性光学材料,被认为是最有应用前景的波导材料之一.近年来,文献1,2]报道了利用ＭｅＶ轻离子Ｈ或Ｈｅ注入法研究ＫＮ晶体的光波导特性.我们依据重离子与物质相互作用的特点,能够在降低注入剂量,形成稳定的波导边界和减少光损耗方面较之轻离子注入更为有利.在文献3]中报道了用60ＭｅＶＢ离子,1×1015ｃｍ-2剂量注入ＫＮ晶体形成非渗漏型光波导的新结果.本文用高分辨ＴＥＭ进一步对样品做了光波导的微结构…
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| 关 键 词： | 离子注入 铌酸钾晶体 光波导 微结构 |
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