| 金刚石膜制备工艺对其应力-应变特性的影响 |
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| 引用本文： | 白亦真,吕宪义,韩雪梅,金曾孙,吕天山,白媛.金刚石膜制备工艺对其应力-应变特性的影响[J].吉林大学学报(理学版),2006,44(5):784-786. |
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| 作者姓名： | 白亦真 吕宪义 韩雪梅 金曾孙 吕天山 白媛 |
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| 作者单位： | 1. 大连理工大学 三束材料改性国家重点实验室, 辽宁省 大连 116023; 2. 大连理工大学 物理系, 辽宁省 大连 116023; 3. 吉林大学 超硬材料国家重点实验室, 长春 130012; 4. 长春工业大学 工商管理学院, 长春 130012; 5. 辽宁工学院 计算机科学与工程学院, 辽宁省 锦州 121000 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 研究了在直流热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积制备金刚石厚膜的工艺过程中, 放电电流和甲烷浓度对金刚石膜应力-应变特性的影响规律.
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| 关 键 词： | 化学气相沉积 金刚石膜 应力-应变 |
| 文章编号： | 1671-5489(2006)05-0784-03 |
| 收稿时间： | 2005-11-24 |
| 修稿时间： | 2005年11月24 |
Influences of Deposition Technologies on Stress-strain Properties of Thick Diamond Films |
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| BAI Yi-zhen,L Xian-yi,HAN Xue-mei,JIN Zeng-sun,L Tian-shan,BAI Yuan.Influences of Deposition Technologies on Stress-strain Properties of Thick Diamond Films[J].Journal of Jilin University: Sci Ed,2006,44(5):784-786. |
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| Authors: | BAI Yi-zhen L Xian-yi HAN Xue-mei JIN Zeng-sun L Tian-shan BAI Yuan |
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| Institution: | 1.State Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams, Dalian University of Technology,Dalian 116023,Liaoning Province,China; 2.Department of Physics,Dalian University of Technology,Dalian 116023,Liaoning Province,China;3.State Key Laboratory of Superhard Materials,Jilin University,Changchun 130012,China;4.School of Business Administration, Changchun University of Technology,Changchun 130012,China; |
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| Abstract: | This paper focuses on the influences of the discharge current and methane concentration on the stress-strain properties of Chemical Vapor Deposition(CVD) thick diamond films.This has laid good foundations for the promotions of the qualities,especially the mechanical properties of thick diamond films. |
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| Keywords: | chemical vapor deposition diamond films stress-strain |
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