P-InP欧姆接触

本文对在P-InP上依次蒸发Au、Zn、Au所形成的多层金属结构的欧姆接触特性进行了研究。结果表明,当Zn层厚度大于300,第一层Au厚度在300左右时可获得较低的比接触电阻和良好的附着性,用带溅射剥离的俄歇电子能谱仪测量了合金前后样品组份的深度分布,同时利用修正的四探针方法和扫描电镜对样品进行了分析。