彩色分类金相学—利用扫描电子显微镜或电子探针配合彩色滤光片制成“彩色复合照片”以研究材料的显微结构的一种方法

彩色分类金相学是不同于一般的彩色金相学,不能用光学显微镜进行观察而只能用特殊的设备如扫描电镜或电子探针将试样的结构特征先拍成黑一白底片,然后配合原色滤光片,并指定某一原色来代表某一相或特征,再依次翻拍在同一张彩色底片上以制成一张“彩色复合照片”。单从这一张照片就能够看到试样所反映出的所有信息。本文列举两个典型例子来说明这种彩色分类金相的操作方法和应用,同时在所举的例子中还列出一种叫做“电压对比方法”用以控制半导体器件或集成电路的质量。本篇报导的目的,希望引起读者对这一较新的发展的注意及在国内开展这方面的工作。