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| 关于分子泵抽气性能的设计 | |
| 作者姓名： | 屠基元 |
| 作者单位： | 复旦大学物理学系 |
| 摘 要： | 随着近期复合式分子泵(即由涡轮抽气级和牵引压缩级两部分组成的分子泵)的研制,对复合泵中的涡轮级提出了更高的要求.这是因为涡轮抽气级与牵引压缩级这两种叶轮的抽速相差很大,只有当涡轮叶轮组对某种气体的压缩比达到能与牵引级相匹配的要求,才能使涡轮组的抽速不至损失,亦即才能保证整体泵对该种气体的最大抽速.所以在设计时,首先就要求对涡轮级抽气组的理论特性有比较精确的计算.但是在组合叶列中,由于直通传输几率(即气体分子直接穿过某级叶列的几率)的存在,影响了组合叶列的抽气性能,需要加以修正.本文取6级组合叶列为例,对在不同叶列参数下修正前与修正后的结果作了比较,认为不但涡轮级压缩比的精确计算对复合泵的设计是必要的,而且修正前与修正后的涡轮级最佳组合形式也发生了改变. |
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