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| 刀具形状对单晶硅纳米加工的影响研究 | |
| 引用本文： | 史立秋,谢佳欣,李小海,于峰.刀具形状对单晶硅纳米加工的影响研究[J].佳木斯大学学报,2015(3):423-425. |
| 作者姓名： | 史立秋 谢佳欣 李小海 于峰 |
| 作者单位： | 1. 佳木斯大学机械工程学院,黑龙江 佳木斯,154007 2. 佳木斯大学教务处,黑龙江 佳木斯,154007 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(51105174);黑龙江省高校新世纪优秀人才支持计划(1254-NCET-022) |
| 摘 要： | 刀具的性能影响着工件表面质量的好坏,因此本文采用分子动力学方法,借助LAMMPS分子模拟软件和VMD可视软件来模拟三种不同刀具下单晶硅纳米加工过程,并截取瞬时图像来观察刀具形状对加工过程的影响.比较后发现球形和圆锥形刀具加工的表面质量要优于矩形刀具. |
| 关 键 词： | 分子动力学 纳米加工 刀具 表面质量 |
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