| 压电微悬臂梁探针的制作工艺研究 |
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| 引用本文： | 崔岩,张吕权,夏劲松,王立鼎. 压电微悬臂梁探针的制作工艺研究[J]. 西安交通大学学报, 2011, 45(1): 79-82 |
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| 作者姓名： | 崔岩 张吕权 夏劲松 王立鼎 |
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| 作者单位： | 1. 大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室,116024,大连;大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,116024,大连
2. 大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室,116024,大连 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(90607002); 辽宁省自然科学基金资助项目(20082169) |
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| 摘 要： | 为实现压电探针在纳米器件表征和加工领域的应用,设计并制作了一种压电微悬臂梁探针.采用各向异性湿法腐蚀的方法得到纳米级硅针尖,用局部压电层方法解决了压电微悬臂梁探针制作过程中探针、压电薄膜和微悬臂梁之间的工艺兼容性问题.使用微力传感器测试平台对尺寸为450μm×70μm的压电悬臂梁探针进行测试,结果表明,这种尺寸的压电悬臂梁探针的弹性常数为21.17N/m,与理论计算值相符.通过对压电探针的设计制作,总结了湿法腐蚀-干法刻蚀等工艺的结合方案,为压电探针的广泛应用奠定了基础.
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| 关 键 词： | 压电探针 局部压电层 纳米硅尖 弹性常数 |
Fabrication of Novel Piezoelectric Micro-Cantilever Probe |
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| CUI Yan,ZHANG Lüquan,XIA Jinsong,WANG Liding. Fabrication of Novel Piezoelectric Micro-Cantilever Probe[J]. Journal of Xi'an Jiaotong University, 2011, 45(1): 79-82 |
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| Authors: | CUI Yan ZHANG Lüquan XIA Jinsong WANG Liding |
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| Affiliation: | CUI Yan1,2,ZHANG Lüquan1,XIA Jinsong1,WANG Liding1 (1.Key Laboratory for Micro-Nano Technology and System of Liaoning Province,Dalian University of Technology,Dalian 116024,China,2.Key Laboratory for Precision and Non-Traditional Machining Technology of Ministry of Education,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoelectric probe local piezoelectric layer nano-silicon-tip elastic constant |
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