| 高线性数字式电容微位移传感器 |
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| 引用本文： | 李晓芳,常春波. 高线性数字式电容微位移传感器[J]. 山西师范大学学报：自然科学版, 2007, 21(4): 64-66 |
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| 作者姓名： | 李晓芳 常春波 |
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| 作者单位： | [1]山西大学理论物理研究所,山西太原030006 [2]太原科技大学,山西太原030024 |
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| 摘 要： | 设计了一种基于AD7745芯片的数字式的电容微位移传感器，采用屏蔽电缆和电容保护环技术，有效降低杂散电容的影响．采用数据滤波技术对采样数据进行处理，提高了测量的准确性和重复性．实验结果表明：该电容微位移传感器的分辨力为0．01μm，全量程线性度0．05％，性能较传统电容位移传感器有较大提高．
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| 关 键 词： | 数字式 线性 电容式传感器 微位移 |
| 文章编号： | 1009-4490（2007）04-0064-03 |
| 收稿时间： | 2007-04-23 |
| 修稿时间： | 2007-04-23 |
High Linear Digital Capacitance Micro-displacement Sensor |
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| LI Xiao-fang,CHANG Chun-bo. High Linear Digital Capacitance Micro-displacement Sensor[J]. Journal of Shanxi Teachers University, 2007, 21(4): 64-66 |
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| Authors: | LI Xiao-fang CHANG Chun-bo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | digital linearity capacitance sensor micro-displacement |
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