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| 微机电系统(MEMS)技术的研究与应用 | |
| 引用本文： | 高世桥 曲大成. 微机电系统(MEMS)技术的研究与应用[J]. 科技导报(北京), 2004, 2(4): 17-21 |
| 作者姓名： | 高世桥 曲大成 |
| 作者单位： | 北京理工大学 |
| 摘 要： | 微机电系统是源于微电子加工技术，融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。其特征尺寸极小，学科交叉广泛；技术研究包括微系统理论、设计建模、微机械加工、微器件集成等多个方面；学科分类涵盖了机械、力学、光学、流体、电磁学、生物学等各领域，在民品和军品领域有许多热点应用。本文介绍了微机电系统发展概况、微机电系统技术关键、微机电系统有关传感器，以及微机电系统热点应用和微机电系统技术的发展前景。 |
| 关 键 词： | 微机电系统 MEMS 微机械加工 智能控制 |
Researches on Microelectromechanical Systems and Its Applications |
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