微纳米加工技术

无论是集成电路技术，还是微系统技术或纳米技术，其共同特征是功能结构的尺寸在微米或纳米范围，因此可以统称为微纳米技术。功能结构的微纳米化带来的不仅仅是能源与原材料的节省，而且导致多功能的高度集成和生产成本的大大降低。微纳米技术依赖于微纳米尺度的功能结构与器件。实现功能结构微纳米化的基础是先进的微纳米加工技术。本书作者力求全面介绍微纳米加工方面的各种技术，并且介绍了微纳米加工技术的最新进展。