| 一种新型分离式微变形镜的特性分析 |
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| 引用本文： | 刘喜斌,余洪斌,李俊,陈海清.一种新型分离式微变形镜的特性分析[J].湖南理工学院学报,2008,21(3). |
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| 作者姓名： | 刘喜斌 余洪斌 李俊 陈海清 |
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| 作者单位： | [1]湖南理工学院物理与电子信息系,湖南岳阳414006 [2]华中科技大学光电子工程系,武汉430074 |
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| 摘 要： | 针对一种结构新颖的分离式微变形镜的动、静态特性进行了分析．从能量角度入手对微镜支撑结构在其不同运动状态下所表现出的等效弹性系数进行了推导．以z轴方向的平动为例对微镜的静态变形一电压关系、谐振频率及瞬态响应进行了详细讨论．分析结果表明，在115V时镜面变形可达2μm，而谐振频率为58．805kHz．同时通过与ANSYS模拟结果的对比证实了理论分析的可靠性．
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| 关 键 词： | 微光机电系统 微镜 变形能 等效弹性系数 谐振频率 瞬态响应 |
Characteristics Analysis of A Novel Segmented Micro Mirror |
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| LIU Xi-bin,YU Hong-bin,LI Jun,CHEN Hai-qing.Characteristics Analysis of A Novel Segmented Micro Mirror[J].Journal of Hunan Institute of Science and Technology,2008,21(3). |
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| Authors: | LIU Xi-bin YU Hong-bin LI Jun CHEN Hai-qing |
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