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| 双金属电弧离子蒸发源的研制 | |
| 作者姓名： | 胡志杰 李争显 |
| 作者单位： | [1]宝钛集团有限公司,陕西宝鸡721014 [2]西北有色金属研究院,陕西西安710016 |
| 摘 要： | 阐述了双金属电弧离子蒸发源的设计原则及结构。利用双金属电弧离子蒸发源成功制备了TiAlN膜层,并对优化的制备参数做了简要介绍。 |
| 关 键 词： | 电弧离子镀 离子蒸发源 研制 |
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