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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
Al/α-Si复合膜中非晶硅晶化研究
作者姓名:
蔡伟
万德锐
文秀英
作者单位:
四川大学材料科学系(蔡伟),四川大学分析测试中心(万德锐),四川大学分析测试中心(文秀英)
摘 要:
研究了Al/α-Si复合膜中非晶硅的晶化问题.α-Si膜在与Al相接触条件下,其晶化温度下降,在350℃下退火几分钟,产生晶化转变.而单独的α-Si膜的晶化温度是700℃.
关 键 词:
非晶硅
晶化转变
复合膜
晶化温度
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