精密二维工作台双闭环控制系统设计

本文介绍了一种基于位置和速度PID调节的双闭环精密二维坐标工作台伺服系统。重点介绍了工作台控制系统总体方案和测控电路的设计，同时还指出了它们在精密二维坐标工作台控制系统中具体实现的方法。与其他系统相比，该系统的硬件电路简单，并能实现较高的位移测量精度。最后还简单地介绍了系统的控制算法设计。