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注入温度对氧注入制成的SOI膜质量的影响

引用本文：	董顺乐,丛培杰.注入温度对氧注入制成的SOI膜质量的影响[J].山东大学学报(自然科学版),1990,25(2):161-165.

作者姓名：	董顺乐丛培杰

摘要：
关键词：	SOI 离子注入温度背散射氧离子
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