| 用Sol-Gel法制备气敏传感器SnO2薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 秦友兰,王万录,赵作峰,肖金龙,董玉峰.用Sol-Gel法制备气敏传感器SnO2薄膜的研究[J].广西师范大学学报(自然科学版),2000,18(3):16-19. |
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| 作者姓名： | 秦友兰 王万录 赵作峰 肖金龙 董玉峰 |
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| 作者单位： | 重庆大学应用物理系,重庆,400044 |
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| 摘 要： | 采用无机试剂（ＳｎＣｌ４．５Ｈ２Ｏ）为原料，用溶胶－凝胶（Ｓｏｌ－Ｇｅｌ）法制备研制气敏传感的ＳｎＯ２薄膜，研究了ＳｎＯ２薄膜的电阻随掺杂和温度的变化关系，并且用ＸＲＤ对ＳｎＯ２薄膜进行分析，结果表明，掺杂和热处理温度对薄膜晶粒尺寸的大小、薄膜的结构形态均有较大的影响，进而影响薄膜的电导及传感器的灵敏度。
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| 关 键 词： | XRD 二氧化锡薄膜 溶胶－凝胶法 气敏传感器 |
| 修稿时间： | 2000-03-16 |
STUDIES OF GAS-SENSITIVE SnO2 THIN FILMS PREPARED BY Sol-Gel |
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| QIN You-lan,WANG Wan-lu,ZHAO Zuo-feng,XIAO Jin-long,DONG Yu-feng.STUDIES OF GAS-SENSITIVE SnO2 THIN FILMS PREPARED BY Sol-Gel[J].Journal of Guangxi Normal University(Natural Science Edition),2000,18(3):16-19. |
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| Authors: | QIN You-lan WANG Wan-lu ZHAO Zuo-feng XIAO Jin-long DONG Yu-feng |
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