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| ZnO缓冲层厚度对Al掺杂ZnO薄膜性能的影响 | |
| 引用本文： | 艾小倩,马书懿,马李刚,黄新丽.ZnO缓冲层厚度对Al掺杂ZnO薄膜性能的影响[J].西北师范大学学报,2011(6):20-24. |
| 作者姓名： | 艾小倩 马书懿 马李刚 黄新丽 |
| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法在不同厚度的ZnO缓冲层上制备了A1掺杂ZnO(AZO)薄膜.利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-VIS)和荧光分光光度计(PL)等表征技术,研究了AZO薄膜的微观结构、表面形貌和发光特性.XRD分析结果表明,加入适当厚度的ZnO缓冲层后可有效地降低晶格失配... |
| 关 键 词： | 磁控溅射法 ZnO缓冲层 AZO薄膜 XRD 光致发光 |