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精密运动平台宏微控制系统的设计
引用本文:陈兴林,刘川,刘杨,张旭,王伟峰.精密运动平台宏微控制系统的设计[J].中南大学学报(自然科学版),2013,44(6).
作者姓名:陈兴林  刘川  刘杨  张旭  王伟峰
作者单位:哈尔滨工业大学航天学院,黑龙江哈尔滨,150001
摘    要:基于高动态精密伺服运动双台系统模型提出一种非线性宏微控制方法.该方法采用长行程直线电机宏动跟随音圈电机高精密微动的驱动方式,并引入扩张状态观测器.系统在定位误差较大时,采用近似时间最优控制律的轻阻尼宏动台,以允许的最大速度快速响应,在接近目标位置后,再用采用复合非线性反馈控制律的重阻尼微动台来补偿宏动台超调引起的位置偏差,最终实现系统快速高精度的定位.通过扩张状态观测器观测系统的动态变化,补偿系统中的各种扰动,减小系统的稳态跟踪误差.研究结果表明:该方法改善系统的动态性能和抗干扰能力,提高系统的定位精度.

关 键 词:双台  直线电机  音圈电机  状态观测器  非线性

Dual-stage actuator control system design for precision motion platform
CHEN Xinglin , LIU Chuan , LIU Yang , ZHANG Xu , WANG Weifeng.Dual-stage actuator control system design for precision motion platform[J].Journal of Central South University:Science and Technology,2013,44(6).
Authors:CHEN Xinglin  LIU Chuan  LIU Yang  ZHANG Xu  WANG Weifeng
Abstract:
Keywords:dual-stage actuator  linear motor  voice coil motor  state observer  nonlinear
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