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| 一种用于MEMS陀螺仪的隔振平台及其结构设计 | |
| 作者姓名： | 许高斌 杨海洋 王超超 马渊明 陈兴 |
| 作者单位： | 合肥工业大学电子科学与应用物理学院,安徽合肥 230601 |
| 基金项目： | 装备预研项目;安徽省重点研究与开发计划资助项目 |
| 摘 要： | 为隔离外部环境振动对MEMS陀螺仪性能造成的不利影响,文章设计了一种用于MEMS陀螺仪隔振的单层及双层隔振平台,通过理论分析隔振平台结构参数对隔振性能以及集成隔振平台对MEMS陀螺仪性能的影响,确立隔振平台的设计准则;设计了一种用于MEMS陀螺仪的单层及双层隔振结构及其制备工艺流程,通过ANSYS仿真分析隔振平台结构设... |
| 关 键 词： | MEMS陀螺仪 隔振平台 理论模型 制备工艺 仿真分析 |
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