一种用于MEMS陀螺仪的隔振平台及其结构设计

为隔离外部环境振动对MEMS陀螺仪性能造成的不利影响,文章设计了一种用于MEMS陀螺仪隔振的单层及双层隔振平台,通过理论分析隔振平台结构参数对隔振性能以及集成隔振平台对MEMS陀螺仪性能的影响,确立隔振平台的设计准则;设计了一种用于MEMS陀螺仪的单层及双层隔振结构及其制备工艺流程,通过ANSYS仿真分析隔振平台结构设计的可靠性及合理性。对1个示例MEMS陀螺仪进行分析,结果表明所设计的单层及双层隔振平台结构合理可靠且均可隔离外界环境振动,通过增大第1层隔振平台质量不仅可以提高隔振效果还可有效降低集成隔振平台对MEMS陀螺仪性能的影响。采用设计的隔振平台结构与工艺流程可实现陀螺仪与隔振平台的圆片级封装,并可采用MEMS的加工工艺大批量生产,降低隔振成本。