| 可定量测量的透射式微分干涉显微系统 |
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| 引用本文： | 徐毓娴,蔡昕,董小满,李文江.可定量测量的透射式微分干涉显微系统[J].清华大学学报(自然科学版),2003,43(2):149-151. |
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| 作者姓名： | 徐毓娴 蔡昕 董小满 李文江 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(59975052) |
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| 摘 要： | 为满足透明体表面形貌定量测量的需要,研制成功了透射式微分干涉显微测量系统,该系统包括透射式微分干涉显微镜,CCD摄像机,检偏器旋转驱动部件,计算机及相关测量软件。介绍了测量原理、公式、相移干涉方法以及将一台普通反射式干涉显微镜,改装成透射式微分干涉相衬显微镜的关键技术。利用改装好的装置对几种透明体的形貌进行了重构。结果表明:该系统较好地解决了透明体表面形貌的重构问题,在一般实验室条件下,无须采取任何隔振和环境控制措施,测量系统重复性、稳定性均优于2nm,测量范围不受半个波长的限制,有广阔的应用前景。
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| 关 键 词： | 微分干涉 相移 表面形貌 |
| 文章编号： | 1000-0054(2003)02-0149-03 |
| 修稿时间： | 2002年3月11日 |
Transmitted-light differential interference contrast microscopy system for measuring transparent surface topographies |
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| XU Yuxian,CAI Xin,DONG Xiaoman,LI Wenjiang.Transmitted-light differential interference contrast microscopy system for measuring transparent surface topographies[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2003,43(2):149-151. |
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| Authors: | XU Yuxian CAI Xin DONG Xiaoman LI Wenjiang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | differential interference phase-stepping surface topography |
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