| LSAWs测量低介电常数介质薄膜杨氏模量的信号处理 |
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| 引用本文： | 肖夏,白茂森,李志国,姚素英.LSAWs测量低介电常数介质薄膜杨氏模量的信号处理[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版),2007,40(5):554-558. |
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| 作者姓名： | 肖夏 白茂森 李志国 姚素英 |
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| 作者单位： | 天津大学电子信息工程学院,天津300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;教育部留学回国人员科研启动基金 |
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| 摘 要： | 利用脉冲激光激发超声表面波测量低介电常数介质薄膜杨氏模量时（LSAWs实验），必须对实验信号进行有效处理来拟合出表面波在待测样品表面传播时产生的色散曲线。设计了专用的程序滤波器对LSAWs实验中采集的原始信号进行滤波，有效抑制了信号噪声．滤波器加载的Kaiser窗降低了“吉布斯”效应的影响．对原始信号的增零处理增加了频谱的细腻程度．通过傅里叶变换获得了LSAWs实验有效信号的频谱．根据实验信号的相频特性曲线，通过最小二乘法拟合出了LSAWs实验中声表面波在待测样品表面传播时产生的色散曲线．实验表明，阻带噪声衰减为60dR，获得了截止频率高达120MHz的色散曲线．
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| 关 键 词： | 声表面波 低介电常数薄膜 杨氏模量 信号处理 最小二乘法 |
| 文章编号： | 0493-2137（2007）05-0554-05 |
| 修稿时间： | 2006-07-282006-11-09 |
Signal Processing in the LSAWs Experiment for Determining Young's Modulus of Low-k Film |
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| XIAO Xia,BAI Mao-sen,LI Zhi-guo,YAO Su-ying.Signal Processing in the LSAWs Experiment for Determining Young''''s Modulus of Low-k Film[J].Journal of Tianjin University(Science and Technology),2007,40(5):554-558. |
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| Authors: | XIAO Xia BAI Mao-sen LI Zhi-guo YAO Su-ying |
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| Institution: | School of Electronic Information Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China |
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| Abstract: | |
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