对影响外延片表面质量的若干问题的研究

外延片作为制造多种分立器件的必须材料,其地位已愈发重要。外延片的表面质量对外延片整体质量有很大影响。本文对在外延片生产中,影响外延片表面,引起外延生产大部分不合格率的颗粒、暗点、滑移线等主要问题进行了研究,总结了批量生产中针对此类问题采取的预防改进措施。关注产品表面质量,减少或根除这些因素对外延片表面的影响,将对保证产品质量、提升产品合格率起到积极作用。