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| 局部高台阶对注入层全局关键尺寸均匀性的影响 | |
| 作者姓名： | 王强 吴庭溪 宋帅迪 |
| 作者单位： | 南通大学信息科学技术学院,江苏南通226019;南通大学信息科学技术学院,江苏南通226019;南通大学信息科学技术学院,江苏南通226019 |
| 基金项目： | 江苏省高等学校自然科学研究重大项目;江苏省成果转化专项资金项目 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 关键尺寸均匀性 高台阶 注入层 曝光图形 光刻良率 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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