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| 新型硅微加速度传感器的设计与制作 | |
| 引用本文： | 清华大学学报（自然科学版）. 新型硅微加速度传感器的设计与制作[J]. 清华大学学报(自然科学版), 1999, 39(Z1): 1 |
| 作者姓名： | 清华大学学报（自然科学版） |
| 作者单位： | ：李军俊，刘理天，杨景铭 清华大学 微电子学研究所,北京 100084 |
| 摘 要： | |
| 修稿时间： | 1998-09-24 |
Design and fabrication ofnovelsilicon-based microaccelerometer |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |