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| 新型硅微加速度传感器的设计与制作 | |
| 引用本文： | 清华大学学报.新型硅微加速度传感器的设计与制作[J].清华大学学报(自然科学版),1999,39(Z1):1. |
| 作者姓名： | 清华大学学报 |
| 作者单位： | ：李军俊，刘理天，杨景铭 清华大学 微电子学研究所, 北京 100084 |
| 摘 要： | |
| 修稿时间： | 1998-09-24 |
Design and fabrication of novel silicon-based microaccelerometer |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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