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| 氧化锌薄膜的制备技术 | |
| 引用本文： | 李勇,马书懿,李锡森,蔡利霞.氧化锌薄膜的制备技术[J].甘肃科技,2009,25(6):72-73. |
| 作者姓名： | 李勇 马书懿 李锡森 蔡利霞 |
| 作者单位： | 西北师范大学,物理与电子工程学院,甘肃,兰州,730070 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，甘肃省自然科学基金 |
| 摘 要： | 介绍了氧化锌薄膜的制备方法，主要有物理和化学两种方法。物理方法有：分子束外延法（MBE），脉冲激光溅射沉积法（PLD）以及磁控溅射法；化学方法有：溶液镀膜法和各种化学气相淀积（CVD）。重点讨论了磁控溅射法的优缺点及展望。 |
| 关 键 词： | 脉冲激光沉积 化学气相淀积 磁控溅射法 |
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