| 不锈钢基底上TiO2薄膜的制备和结构分析 |
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| 引用本文： | 王鹤峰,李秀燕,张洪涛.不锈钢基底上TiO2薄膜的制备和结构分析[J].太原理工大学学报,2008,39(1):17-19. |
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| 作者姓名： | 王鹤峰 李秀燕 张洪涛 |
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| 作者单位： | 1. 太原理工大学,理学院,山西,太原,030024;山西大同大学,物理系,山西,大同,037009
2. 太原理工大学,理学院,山西,太原,030024 |
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| 基金项目： | 山西省高等学校青年学术带头人资助项目
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太原市科技计划项目明星专项资助项目 |
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| 摘 要： | 为了在不锈钢表面形成良好膜基结合强度且成分结构可控的TiO2薄膜,首先利用双层辉光离子渗镀技术在不锈钢表面形成渗Ti层,渗金属温度为950℃,然后将渗钛试样置于真空管式炉在200～750 ℃温度范围内进行热氧化从而形成不同结构的TiO2薄膜.重点就氧化温度对所形成TiO2薄膜的组织成分和相结构的影响进行了研究.结果表明:不同温度下不锈钢表面均形成了致密、均匀的钛氧化物薄膜,且Ti、O元素在不锈钢基底上形成了扩散层,随着温度升高,扩散层厚度增大.XRD分析结果表明:在温度低于300℃时,生成相为TiO和锐钛矿TiO2的混晶;在300～600 ℃的温度范围,为单一锐钛矿TiO2结构;在650℃以上时,晶型转变为金红石结构.
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| 关 键 词： | TiO2 不锈钢 离子渗镀 热氧化 不锈钢 基底 膜的制备 结构分析 Stainless Steel Thin Films 金红石结构 晶型转变 混晶 锐钛矿 扩散层厚度 温度升高 元素 氧化物薄膜 均匀 钢表面 结果 研究 影响 组织成分 |
| 文章编号： | 1007-9432（2008）01-0017-03 |
| 收稿时间： | 2006-01-11 |
| 修稿时间： | 2006年1月11日 |
Preparation of TiO2 Thin Films on Stainless Steel |
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| WANG He-feng,LI Xiu-yan,ZHANG Hong-tao.Preparation of TiO2 Thin Films on Stainless Steel[J].Journal of Taiyuan University of Technology,2008,39(1):17-19. |
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| Authors: | WANG He-feng LI Xiu-yan ZHANG Hong-tao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TiO2 stainless steel plasma surface alloying technique thermal oxidation |
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