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料层厚度对多热源SiC合成炉内CO温度变化的影响
引用本文:李成峰.料层厚度对多热源SiC合成炉内CO温度变化的影响[J].西安科技大学学报,2009,29(2).
作者姓名:李成峰
作者单位:西安科技大学,研究生部,陕西,西安,710054
基金项目:国家自然科学基金,宁夏自治区科技攻关项目 
摘    要:利用自行设计的CO气体收集装置研究了料层厚度对多热源SiC合成炉内CO温度变化的影响.结果表明,在供电功率、供电时间、炉芯尺寸、炉芯数目等实验参数均相同的条件下,炉内CO温度随供电时间呈现近线性增大的变化趋势,料层越厚,距料层表面同位置处CO温度越低,CO温度的最大值、平均值、梯度值、温度增长速率越小.

关 键 词:料层厚度  SiC合成炉  CO温度

Effect of materials layer thickness on CO temperature change in multi-heat-source SiC furnace
LI Cheng-feng.Effect of materials layer thickness on CO temperature change in multi-heat-source SiC furnace[J].JOurnal of XI’an University of Science and Technology,2009,29(2).
Authors:LI Cheng-feng
Abstract:
Keywords:
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