金属铝薄膜制备实验研究

采用金属铝片作为靶材,用热蒸发镀膜的方法,在玻璃基体上制备金属铝膜样品,样品再经过不同条件下的退火处理。X射线衍射检测分析表明:热蒸发法在玻璃基底上能够制备生成金属铝膜。退火处理后依然是金属铝膜,薄膜样品中没有氧化物成分。金属铝膜主要有两种结构成分,部分为非晶结构,部分为单晶结构晶体,薄膜形貌呈准直阵列状的结构。