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| 动态微位移量的自动干涉测量系统 | |
| 引用本文： | 王青.动态微位移量的自动干涉测量系统[J].南京理工大学学报(自然科学版),1998,22(2):145-148. |
| 作者姓名： | 王青 |
| 作者单位： | 南京理工大学电子工程与光电技术学院 |
| 摘 要： | 该文介绍一种可进行动态微位移测量的自动干涉测试系统。 |
| 关 键 词： | 光学干涉仪 自动化 动态测量 微位移 |
An Interferometric System Used for Testing Micro displacement Automatically |
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| Wang Qing,Chen Jinbang,Chen Lei.An Interferometric System Used for Testing Micro displacement Automatically[J].Journal of Nanjing University of Science and Technology(Nature Science),1998,22(2):145-148. | |
| Authors: | Wang Qing Chen Jinbang Chen Lei |
| Abstract: | |
| Keywords: | optical interferometers automation dynamic measurement micro displacement |
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