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| 一种新型的霍尔效应测试装置 | |
| 引用本文： | 张兆文,魏希文.一种新型的霍尔效应测试装置[J].大连理工大学学报,1983(3). |
| 作者姓名： | 张兆文 魏希文 |
| 作者单位： | 大连工学院微电子学教研室 (张兆文)，大连工学院微电子学教研室(魏希文) |
| 摘 要： | 采用Vanderpauw提出的测量霍尔效应的方法〔1,2〕,利用低温和变温技术进行霍尔分析,已经成为研究半导体微观结构的有效方法。1979年美国凯茨利(Keithley)公司已研制成功霍尔效应的全自动化装置。国内由于低温等条件的限制,这项工作开展较晚。因为该类型装置涉及低温、控温、测温、真空和电磁等多门技术,所以长期以来一直存在结构庞大繁杂,不易操作等问题,影响了应用研究的进展。我们研制成功的DH82型低温变温霍尔测试装置,较好地解决了这些问题。通过两年来的使用,证明了该装置具有结构合理、成本低,操作简便、测试精度高等优点,是一种简… |
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