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| 电感耦合高频放电等离子体特性测试 | |
| 作者姓名： | 杨孝龙 |
| 作者单位： | 1.安康师范专科学校物理学系;2.西安交通大学电信学院;3.安康师范专科学校物理学系西安交通大学电信学院 |
| 摘 要： | 利用Ｌａｎｇｍｕｉｒ双探针测试方法对高频放电等离子体的参数（ｎｐ,Ｔｅ）进行了详尽测试,得出了等离子体参数随放电空间位置、气体种类、放电功率、气体压强、磁约束等条件变化的规律,并对测试结果做了理论分析。 |
| 关 键 词： | 高频放电 等离子体 电子温度 等离子体密度 |
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