| 脉冲激光沉积BST铁电薄膜的厚度分布 |
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| 引用本文： | 皇甫国庆.脉冲激光沉积BST铁电薄膜的厚度分布[J].陕西师范大学学报,2003,31(3):55-58. |
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| 作者姓名： | 皇甫国庆 |
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| 作者单位： | 渭南师范学院物理学系 陕西渭南714000 |
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| 基金项目： | 陕西省21世纪初高等教育教学改革工程研究项目(02217)，渭南师范学院科研基金资助项目(01YKS014) |
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| 摘 要： | 使用193nm脉冲激光在高真空条件下沉积Ba0.5Sr0.5TiO3(BST)薄膜,通过观测薄膜形成的等厚干涉条纹,发现溅射光斑形状对膜层厚度分布有显著影响.通过精确测量干涉条纹的分布,推出了溅射产物的角分布函数.
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| 关 键 词： | (Ba Sr)TiO3 铁电薄膜 脉冲激光沉积 |
| 文章编号： | 1001-3857(2003)03-0055-04 |
| 修稿时间： | 2003年1月20日 |
Thickness distribution of BST ferroelectric film deposited by pulsed laser |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | (Ba Sr)T_iO_3 ferroelectric film pulsed laser deposition |
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