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微机械加速度计的分析与测试
引用本文:郝颖,石继雨,乐慧康. 微机械加速度计的分析与测试[J]. 应用科技, 2003, 30(1): 39-41
作者姓名:郝颖  石继雨  乐慧康
作者单位:哈尔滨工程大学,自动化学院,黑龙江,哈尔滨,150001
摘    要:概述了力反馈型微机械加速度计的基本结构和工作原理,对其在重力场静态翻滚试验的输出特性作了数据分析,并对这种微机械加速度计的性能特点进行了综合评价。

关 键 词:微机械加速度计 测试 灵敏度
文章编号:1009-671X(2003)01-0039-03
修稿时间:2002-06-12

Measurement and Analysis of Micro-machined Accelerometer ADXL05
Abstract:
Keywords:micro-machined accelerometer  sensitivity
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