| 微纳米加工净化间的环境维护与管理 |
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| 引用本文： | 郭党委,冯娟娟.微纳米加工净化间的环境维护与管理[J].实验科学与技术,2015(1):176-177. |
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| 作者姓名： | 郭党委 冯娟娟 |
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| 作者单位： | 兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(51202102) |
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| 摘 要： | 随着现代科技的发展,科研工作越来越需要与实际应用相结合,因此国内高校越来越多的建立起用于微纳米刻蚀的净化间,相应的其维护管理操作规范的建立也很有必要。文中主要从净化间的环境控制、运行规范和人员管理等三个方面,讨论和阐述了如何使其安全良好运行,进而确保制备样品的质量,为高校科研活动提供保障。
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| 关 键 词： | 高校 净化间 维护 管理 |
Environment Maintenance and Management of Cleaning Room for Micro-nano Fabrication |
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| GUO Dangwei;FENG Juanjuan.Environment Maintenance and Management of Cleaning Room for Micro-nano Fabrication[J].Experiment Science & Technology,2015(1):176-177. |
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| Authors: | GUO Dangwei;FENG Juanjuan |
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| Institution: | GUO Dangwei;FENG Juanjuan;Key Laboratory for Magnetism and Magnetic Materials of the Ministry of Education,Lanzhou University; |
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