| 一种非接触式表面形貌测量系统的研究 |
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| 引用本文： | 张鄂,金增伟.一种非接触式表面形貌测量系统的研究[J].上海交通大学学报,1996,30(3):166-172. |
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| 作者姓名： | 张鄂 金增伟 |
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| 摘 要： | 介绍了一种非接触式的表面三维形貌测量系统，该系统采用了光学离焦原理中的象散法．从激光束光学中简洁的ＡＢＣＤ定律出发，分析并获得了系统的特性曲线，这比采用几何光学方法得到的结果更接近实际情况．在±５μｍ的线性范围内，系统的噪声在±６ｎｍ范围内．通过对几种标准样板的实测，得到了与实际相符的结果．最后给出了表面三维形貌的测量结果．
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| 关 键 词： | 三维形貌 光触针 象散法 |
A Research of a Non-Contact Surface Topography Measuring System |
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| Tan Dun, Zhang E, Jin Zengwei, Ma Shilin, Lin Jianrong.A Research of a Non-Contact Surface Topography Measuring System[J].Journal of Shanghai Jiaotong University,1996,30(3):166-172. |
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| Authors: | Tan Dun Zhang E Jin Zengwei Ma Shilin Lin Jianrong |
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| Institution: | Department of Instrument Engineering |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | three-dimensional topography optical stylus de focus principle |
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