原子层沉积二氧化钛提高氮化镓纳米线的光电化学光探测稳定性(英文) |
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引用本文: | 康阳,刘鑫,汪丹浩,方师,罗远旻,孙海定.原子层沉积二氧化钛提高氮化镓纳米线的光电化学光探测稳定性(英文)[J].中国科学技术大学学报,2022(1):17-23+71. |
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作者姓名: | 康阳 刘鑫 汪丹浩 方师 罗远旻 孙海定 |
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作者单位: | 中国科学技术大学微电子学院 |
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摘 要: | 紫外光探测在光通信、化学与生物相关传感应用中发挥着重要作用。基于氮化镓纳米线的光电化学光探测器以其自供能、环境敏感等特性受到广泛关注。然而,氮化镓纳米线在光电化学环境中易受到光腐蚀,极不稳定。为了提高氮化镓纳米线在光电化学环境中的稳定性,在研究了氮化镓纳米线的光电化学光探测性质的基础上,提出一种利用原子层沉积技术在纳米线表面均匀包覆一层超薄的(~4 nm)二氧化钛保护层,以改善氮化镓纳米线的光电化学稳定性的方法。实验结果表明,相较于未被包覆的氮化镓纳米线,被二氧化钛保护层包覆的氮化镓纳米线在365 nm紫外光照下的光电流密度在2 000 s的测试时间内的衰减程度有所下降。具体而言,未被包覆的氮化镓纳米线的光电流衰减系数高达85%;而包覆了二氧化钛保护层的氮化镓纳米线的光电流衰减系数可降至49%。该研究成果为构建长期稳定的氮化镓纳米线基光电化学型光探测器提供了参考。
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关 键 词: | 氮化镓纳米线 光电化学光探测器 二氧化钛保护层 化学稳定性 |
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