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| SEM中一种新的显微成象及其微区分析技术 | |
| 引用本文： | 印建平,吴志明,高伟建.SEM中一种新的显微成象及其微区分析技术[J].广西大学学报(自然科学版),1993(Z1). |
| 作者姓名： | 印建平 吴志明 高伟建 |
| 作者单位： | 苏州大学分析测试中心，苏州大学分析测试中心，苏州大学分析测试中心 |
| 摘 要： | 建立了扫描电子热辐射测量:SEM的理论模型,进行了相应的理论分析,介绍了电子热辐射显微成象及其微区分析的原理性实验方案,并从理论上估算了三类典型样品(金属、半导体和绝缘材料)产生ETR信号的大小。 |
| 关 键 词： | 电子热辐射效应 扫描电子热辐射显微术 电子热辐射微区分析 |
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