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| 飞秒激光"双三维"纳米加工制备智能微纳器件 | |
| 引用本文： | 马卓晨,张永来,孙洪波.飞秒激光"双三维"纳米加工制备智能微纳器件[J].科学通报,2020,65(34):3856-3857. |
| 作者姓名： | 马卓晨 张永来 孙洪波 |
| 作者单位： | 吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,长春130012;清华大学精密仪器系,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084;吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,长春130012 |
| 摘 要： | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |