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微纳制造技术综述
引用本文:冯美荣,高配彬. 微纳制造技术综述[J]. 太原科技, 2012, 0(12)
作者姓名:冯美荣  高配彬
作者单位:1. 太原技术转移促进中心, 山西 太原 030006
2. 太原科技大学, 山西 太原 030024
3. 山西省冶金设备设计理论与技术重点实验室, 山西 太原 030024
摘    要:微纳制造技术是当前被世界各国研究人员重视的热点问题.阐述了微纳制造技术的背景和定义,着重介绍了几种典型的微纳制造技术及其应用情况,指出了我国在该领域的不足和发展方向.

关 键 词:微纳制造  微纳结构  加工技术

Summary of Micro-nano Manufacture Technology
Abstract:
Keywords:micro-nano manufacture  micro-nano structure  processing technology
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