Al／α—Si复合膜中非晶硅的晶化研究期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

按检索

Al／α—Si复合膜中非晶硅的晶化研究

引用本文：	蔡伟,万德锐.Al／α—Si复合膜中非晶硅的晶化研究[J].四川大学学报(自然科学版),1991,28(2):177-180.

作者姓名：	蔡伟万德锐

摘要：
关键词：	非晶硅晶化转变复合膜
本文献已被维普等数据库收录！