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| 旋片式机械真空泵抽气速率的分析 | |
| 引用本文： | 赵民初.旋片式机械真空泵抽气速率的分析[J].南京师大学报,1981(4). |
| 作者姓名： | 赵民初 |
| 摘 要： | 在真空蒸发镀膜设备中,旋片式机械真空泵(以下简称旋片泵)获得了广泛的应用。通常由扩散泵和旋片泵组成抽气系统,旋片泵作为扩散泵的前置泵,用来维持一定的前置真空。此外,为了缩短抽气时间,提高效率,往往用旁通管道把旋片泵和真空室直接相联,以 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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