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| PECVD法硅纳米晶体的制备及在线表面改性 | |
| 引用本文： | 张珈铭,张念波,张静全,李卫,武莉莉,黎兵,冯良桓.PECVD法硅纳米晶体的制备及在线表面改性[J].西南民族学院学报(自然科学版),2014(6). |
| 作者姓名： | 张珈铭 张念波 张静全 李卫 武莉莉 黎兵 冯良桓 |
| 作者单位： | 四川大学材料科学与工程学院; |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2011AA050515) |
| 摘 要： | 通过等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备粒径大小可以控制的硅纳米晶体,并对制备的纳米晶硅进行了在线表面改性.实验结果表明:成功获得了表面经烃基改性的不同粒径的纳米晶硅.相较于没有改性的纳米晶硅,它具有良好的抗氧化性和抗团簇能力,在有机溶剂中有着很好的分散性. |
| 关 键 词： | 纳米晶硅 PECVD 制备 表面改性 |
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