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| 磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO∶Al透明导电薄膜 | |
| 引用本文： | 杨田林,许心光,张德恒,马瑾,马洪磊.磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO∶Al透明导电薄膜[J].山东大学学报(理学版),1998(3). |
| 作者姓名： | 杨田林 许心光 张德恒 马瑾 马洪磊 |
| 作者单位： | 山东大学光电材料与器件研究所，山东大学晶体材料国家重点实验室，山东大学物理系 |
| 摘 要： | 用射频磁控溅射方法在有机柔性衬底上制备出好的附着性、低电阻率、高透射率ＺｎＯ∶Ａｌ的透明导电膜，研究了薄膜的结构、电学和光学特性． |
| 关 键 词： | 磁控溅射 柔性衬底 ZnO∶Al薄膜 |
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