| 提高激光干涉测量精度的研究 |
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| 引用本文： | 李东光 张国雄. 提高激光干涉测量精度的研究[J]. 北京理工大学学报, 2000, 20(5): 621-625 |
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| 作者姓名： | 李东光 张国雄 |
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| 作者单位： | 1. 北京理工大学,机电工程系,北京,100081
2. 天津大学,精密仪器及光电子工程学院,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;59605018; |
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| 摘 要： | 空气折射率的补偿效果在高精度激光干涉测量中起着瓶颈的作用，解决空气年射率的高精度测量问题有助于激光干涉测量精度提高。用于种电容传感器测量空气介电常数而相对测量空气折射率，进而通过计算机多点测量补偿装置提高激光干涉测量的测量精度，仅用一种传感器反映几种空气参数及其成分的变化对空气折射率的影响，测量装置简单，测量环节的误差源少，经误差补偿后测量精度明显提高。
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| 关 键 词： | 激光干涉测量 空气折射率 测量精度 |
Improving the Accuracy of Laser Interferometry |
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| LI Dong guang,ZHANG Guo xiong,LI Gui tao. Improving the Accuracy of Laser Interferometry[J]. Journal of Beijing Institute of Technology(Natural Science Edition), 2000, 20(5): 621-625 |
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| Authors: | LI Dong guang ZHANG Guo xiong LI Gui tao |
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| Affiliation: | LI Dong guang 1,ZHANG Guo xiong 2,LI Gui tao 1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | laser interferometry refractive index of air dielectric coefficient of air error compensation |
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