| 用于光网络通信的Si基光子集成器件的研究 |
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| 引用本文： | 王启明.用于光网络通信的Si基光子集成器件的研究[J].南京大学学报(自然科学版),2005,41(1):23-30. |
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| 作者姓名： | 王启明 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室 北京，100083 |
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| 基金项目： | 国家重大基础研究规划 ( 973 )项目 (G2 0 0 0 0 3 660 3、G2 0 0 0 0 3 660 6)，国家高技术发展计划 ( 863 ) ( 2 0 0 2AA3 12 0 10、2 0 0 2AA3 12 0 60 )，国家基金委重大基础研究计划项目 ( 9610 40 0 3 ) |
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| 摘 要： | 报导了可用于光网络系统终端OADM和OXC的Si基长波长量子阱窄带响应光电接收器 ,MOEMS和F_PTO宽频域光学滤波器 ,M_Z型TO光开关和MMI多路分束器以及可变光强衰减器 .用应变层SiGe/SiMQW研制的RCE光电接收器响应谱半宽FWHM <6nm ,外量子效率 η >4 .2 % ;采用表面微机械加工的桥式光学滤波器 ,当外加电压 0→ 50V ,连续可调谐范围达 90nm ;采用全平面工艺研制的F_P腔TO滤波器 ,当外加电流 0→ 57mA时 ,连续可调谐范围达 2 3nm ,FWHM <0 .5nm .在SOISi基片上研制的M_ZTO波导光开关 ,开关时间 <30 μs,功耗～ 10 0mW .开关消光比_13dB和_10dB ,1× 4MMI多路分束器输出光场的不均衡性 <0 .36dB ,总插入损耗 6 .9dB .用背向对接的MMI构成的M_Z干涉仪实现了光强的可变调最大衰减量 2 6dB ,响应时间 10 0 μs,插入损耗 4 .8～ 7dB .
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| 关 键 词： | Si基集成 光电探测器 光学滤波器 光开关 光分路器 光强衰减器 |
Investigation on Si-based Integrated Photonic Devices for Application in Optical Network Communications |
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| Wang Qi-Ming.Investigation on Si-based Integrated Photonic Devices for Application in Optical Network Communications[J].Journal of Nanjing University: Nat Sci Ed,2005,41(1):23-30. |
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| Authors: | Wang Qi-Ming |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Si-based integration photodetector optical filter optical switch beam splitter variable optical attenuator |
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