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| MEMS研究与发展前景 | |
| 引用本文： | 赵晓峰,温殿忠. MEMS研究与发展前景[J]. 黑龙江大学自然科学学报, 2002, 19(1): 64-69 |
| 作者姓名： | 赵晓峰 温殿忠 |
| 作者单位： | 黑龙江大学电子工程学院,黑龙江,哈尔滨,150080 |
| 摘 要： | 在阐述MEMS技术的基本概念、意义、传感MEMS的基本模型和国内外研究状况的基础上,重点阐述MEMS技术的加工工艺及在未来的发展景前景. |
| 关 键 词： | MEMS 微传感器 微执行器 各向异性腐蚀技术 |
| 文章编号： | 1001-7011(2002)01-0064-06 |
| 修稿时间： | 2001-12-05 |
Research and prospects in the future for MEMS |
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| Abstract: | |
| Keywords: | MEMS |
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